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    融合了MEMS和精密加工的先进复合加工方法,可以在玻璃、蓝宝石和陶瓷基底上加工出微米尺度、高深宽比的复杂图案和任意形状的曲面、光学面。


     

          石英玻璃                                   Pyrex玻璃                    微透镜阵列(K9玻璃)