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不采用氟硅烷,含光独有的PDMS脱模工艺,保证PMDS芯片的生物兼容性,1-10um结构精确翻模。含光,让PDMS量产成为可能。


标准设计规则

所有的特征必须是相同深度

最小通道宽度:5μm

最小圆柱直径:10μm (如果模具为凹坑,则PDMS深宽比不能超过1:1)

最小相邻通道间距离:20μm

最小通道高度:10μm

可辨认最小特征尺寸:2μm


制造的标准偏差

1) 通道高度:△h=±5%通道高度

2) 高度特征的精度:±5%通道高度

3) 通道侧壁垂直度:±3°