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  • MEMS微加工     MEMS微加工技术是建立在传统的IC加工技术上,硅及硅的化合物自然成为最主要的材料,凭借从IC制程中继承的相对成熟的设备和工艺,可以在硅基材料上实现三维批量加工,目前已得到广泛应用。MEMS技术是典型的交叉学科,涉及到自然科学和工程技术的方方面面,并可广泛用于航空、航天、军事、光通...