MEMS微加工

含光微纳玻璃芯片加工

含光玻璃芯片优势:

1. 加工效率高(10min/片)
2. 底面Ra低,Ra<15nm
3. 成本低廉
4. 最小加工尺寸<6μm
5. 无污染
含光独有的玻璃微成型工艺,极大地降低了玻璃芯片的生产成本,为您提供更具有市场竞争力的玻璃芯片。

玻璃微流控芯片主要具有如下特性

1. 高化学惰性;
2. 高透光性,可以直接观测化学或细胞的反应;
3. 高耐温性和高电阻,可进行高压电泳分离;
4. 良好的机械稳定性,可通过高的静水压力实现微流道中液体的运输。

因此,玻璃微流控芯片比聚合物芯片拥有更优的性能。

芯片形貌
细胞计数板玻璃芯片(d=2μm)

芯片形貌
聚焦&细胞分选玻璃芯片(d=62μm)

玻璃形貌
微混合器玻璃芯片(d=40μm)

玻璃形貌
玻璃微混合器芯片进液试验

台阶型微尺度玻璃芯片,最小尺寸10μm,台阶高度可控