PDMS芯片

不采用氟硅烷,含光独有的PDMS脱模工艺,保证PMDS芯片的生物兼容性,1-10μm结构精确翻模。含光,让PDMS量产成为可能。

标准设计规则

所有的特征必须是相同深度
最小通道宽度:5μm
最小圆柱直径:10μm (如果模具为凹坑,则PDMS深宽比不能超过1:1)
最小相邻通道间距离:20μm
最小通道高度:10μm 可辨认最小特征尺寸:2μm

制造标准偏差

1) 通道高度:△h=±5%通道高度
2) 高度特征的精度:±5%通道高度
3) 通道侧壁垂直度:±3°