MEMS微加工

SU8加工

SU8是一种用于制作高深宽比精细结构的负性光刻胶,具有良好的机械性能、电绝缘性、抗化学腐蚀性、热稳定性、疏水性及极佳的生物兼容性。可用于制作细胞培养及筛选芯片、分子诊断芯片等生物芯片的关键结构。

生物芯片关键结构多为多层复合结构,而多层SU8薄膜之间应力较大,易脱落,为业界所诟病。 含光微纳研发的一套SU8芯片的工艺流程可制作侧壁垂直度85°以上的多层复杂的SU8结构,有助于帮助客户实现此类生物芯片制作及其产业化。