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含光自建200+平米千级洁净室作为MEMS研发及小批量生产车间,拥有最新型号SUSS光刻机、磁控溅射台、刻蚀机、匀胶机、可编程热板、等离子处理机等加工处理设备,拥有进口显微镜、台阶仪等测试设备,提供从芯片设计到工艺加工全套解决方案,具备量产能力,保证产品交期及质量。

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