含光MEMS产线

含光自建200+平米千级洁净室作为MEMS研发及小批量生产车间，拥有最新型号SUSS光刻机、磁控溅射台、刻蚀机、匀胶机、可编程热板、等离子处理机等加工处理设备，拥有进口显微镜、台阶仪等测试设备，提供从芯片设计到工艺加工全套解决方案，具备量产能力，保证产品交期及质量。