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SU8工艺

SU8是一种用于制作高深宽比精细结构的负性光刻胶,具有良好的机械性能、电绝缘性、抗化学腐蚀性、热稳定性、疏水性及极佳的生物兼容性。可用于制作细胞培养及筛选芯片、分子诊断芯片等生物芯片的关键结构。

由于具有较多优点,SU-8胶被应用于MEMS、芯片封装和微加工等领域。目前,直接采用SU8光刻胶来制备深宽比高的微结构与微零件已经成为微加工领域的一项新技术,在微流控芯片加工中,SU-8还可以应用于PDMS微流芯片模具。



  • 详细信息

生物芯片关键结构多为多层复合结构,而多层SU8薄膜之间应力较大,易脱落,为业界所诟病。 含光微纳研发的一套SU8芯片的工艺流程可制作侧壁垂直度85°以上的多层复杂的SU8结构,有助于帮助客户实现此类生物芯片制作及其产业化。


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