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PDMS工艺

PDMS(聚二甲基硅氧烷),是最广泛使用的硅为基础的有机聚合物材料,其运用包括在生物微机电中的微流道系统、填缝剂、润滑剂、隐形眼镜等。

PDMS易于加工, 具有良好的化学惰性,光学透性好,成本低,是一种广泛用于微流控等领域的聚合物材料。

含光不采用氟硅烷,独有的PDMS脱模工艺,保证PDMS芯片的生物兼容性及1-10μm结构精确翻模,实现 PDMS芯片量产。

  • 详细信息

工艺能力

  • 最小通道宽度:5μm
  • 最小圆柱直径:10μm(如果模具为凹坑,则PDMS深宽比不能超过1:1)
  • 最小相邻通道间距:20μm
  • 最小通道高度:10μm
  • 可辨认最小特征尺寸:2μm
  • 通道高度:△h=±5%通道高度
  • 高度特征的精度:±5%通道高度
  • 通道侧壁垂直度:±3°。


我们的优势

含光不采用氟硅烷,独有的PDMS脱模工艺,保证PDMS芯片的生物兼容性及1-10μm结构精确翻模,实现了PDMS芯片大规模量产。






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